单项选择题
反应离子刻蚀的过程简单来说是（）
A.电离→解吸、排放→轰击→扩散、反应
B.轰击→电离→扩散、反应→解吸、排放
C.电离→扩散、反应→轰击→解吸、排放
D.电离→轰击→扩散、反应→解吸、排放
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单项选择题
A.电离→解吸、排放→轰击→扩散、反应
B.轰击→电离→扩散、反应→解吸、排放
C.电离→扩散、反应→轰击→解吸、排放
D.电离→轰击→扩散、反应→解吸、排放
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