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单项选择题

微电子工艺技术主要包括()

A.平面工艺、光刻技术、微创技术
B.平面工艺、光刻技术、洁净技术
C.平面工艺、微创技术、洁净技术
D.微创技术、光刻技术、洁净技术

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