问答题
简答题
列出硅片制造厂的6个主要生产区，简要说明各区的主要作用，并举例至少一种各区的典型设备。
【参考答案】
芯片制造厂可分成六个独立的生产区：扩散、光刻、刻蚀、薄膜生长、离子注入和抛光。
扩散区：通常是进行高温工艺和薄......
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