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多项选择题

从天然硅中获得达到生产半导体器件所需纯度的SGS要经过（）等步骤。

A.碳加热
B.生产三氯硅烷
C.西门子反应

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多项选择题
BiCMOS技术就是将（）和（）的优良性能集中在同一块集成电路器件中。BiCMOS综告了CMOS结构的低功耗、高集成度和TTL或ECL器件结构的高电流驱动能力。

A.CMOS
B.双极技术
C.nMOS
多项选择题
MOS场效应管（MOSFET）在20世纪70年代得到了广泛的接受，从那时起到现在一直是集成电路的主流晶体管。MOSFET有两类（）和（）。每种类型可由各自器件的多数载流子来区别。

A.nMOS（n沟道）
B.pMOS（p沟道）
C.mMOS（m沟道）
单项选择题
由于衬底材料的缘故会自动产生电容，这种电容称为（）。

A.寄生电容
B.共生电容
C.储存电容
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