多项选择题
A.吸附B.表面驰豫C.烧结D.表面重构
A.等离子体刻蚀B.等离子体检测C.等离子体化学气相沉积D.溅射成膜
A.电离、复合B.附着、离脱C.碰撞、激发D.扩散、迁移
A.高温等离子体-地球自然界B.高温等离子体-太空C.低温等离子体-地球自然界D.低温等离子体-人工制造
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