问答题
案例分析题一个电容测微仪,其传感器的圆形极板半径r=4mm,工作初始间隙δ=0.3mm,问:
工作时,如果传感器与工件的间隙变化量Δδ=±1μm时,电容变化量是多少?
【参考答案】
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