问答题
简答题
光刻的作用是什么？列举两种常用曝光方式。
【参考答案】
光刻是集成电路加工过程中的重要工序，作用是把掩模版上的图形转换成晶圆上的器件结构。
曝光方式：接触式和非接触式。
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