多项选择题
A.磁控溅射B.电子束蒸镀C.CBED.MBE
A.只能生长单组份纳米膜B.生成膜有良好的台阶覆盖特性C.可以精确控制膜厚到原子尺度D.是通过控制前驱体的剂（流）量来精确控制膜厚的
A.可以是纯物理方法B.是液相制备方法C.是气相制备方法D.是固相制备方法
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