问答题
简答题
什么是同质外延、异质外延？晶格失配度？
【参考答案】
外延工艺是一种在单晶衬底的表面上淀积一个单晶薄层的方法。如果薄膜与衬底是同一种材料该工艺被称为同质外延，常被简单地称为外......
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