单项选择题
A.刻蚀气体流量波动B.温度不稳定C.压力变化D.以上都是
A.设备原理B.操作规程C.安全注意事项D.以上都是
A.增加刻蚀腔数量B.缩短刻蚀时间C.降低刻蚀精度D.优化工艺流程
A.电阻加热B.感应加热C.微波加热D.太阳能加热
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