多项选择题

光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。

A.红外线辐射
B.X射线照射
C.加热
D.紫外光辐射
E.电子束扫描

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多项选择题

A.除去光刻胶中剩余的溶剂
B.增强光刻胶对晶片表面的附着力
C.提高光刻胶的抗刻蚀能力
D.有利于以后的去胶工序
E.减少光刻胶的缺陷

多项选择题

A.负胶受显影液的影响比较小
B.正胶受显影液的影响比较小
C.正胶的曝光区将会膨胀变形
D.使用负胶可以得到更高的分辨率
E.负胶的曝光区将会膨胀变形

单项选择题

A.显影液的温度
B.显影液的浓度
C.显影液的溶解度
D.显影液的化学成分