单项选择题
A.雕刻成形B.光刻C.表面的沉积D.表面量子去除
A.尺寸小,表面积小B.尺寸小,体积大C.尺寸小,表面积大D.尺寸小,质量小
A.扫描B.掩膜C.成像D.投影
A.光敏抗蚀剂B.光致抗蚀剂C.光致抗腐剂D.光敏抗腐剂
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