问答题
简答题
简述点蒸发和小平面蒸发源特性，如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。
【参考答案】
（1）点蒸发源：能够从各个方向蒸发等量材料小平面蒸发源：发射具有方向性，使在θ角方向蒸发的材料质量和cos&......
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