列出半导体制造中四种常见的杂质，并说明掺杂后相应的半导体硅的导电类型。

【参考答案】

硼：P型；
磷，砷和锑：N型

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问答题

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根据下图给出的一氧化工艺的菜单实例，试说明：
（1）该工艺采用的氧化方法
（2）每一步骤的具体作用（或状态）
（3）氮气在整个工艺流程中的作用
（4）工艺过程中加入HCl的主要作用