问答题
简答题
列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。
【参考答案】
两种主要的光反射问题是反射切口和反射驻波，在刻蚀形成的垂直侧墙表面，反射光到不需要曝光的光刻胶中就会形成反射切口，光刻中......
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