单项选择题
A.蒸发—气相质量输运—淀积成膜B.离化—气相质量输运—淀积成膜C.蒸发—离化—淀积成膜D.离化—挥发—淀积成膜
A.钛.钽.铜.铝.铂B.钛.钽.铝.铜.铂C.钛.钽.铝.铜.金D.钛.钽.铝.铜.银
A.低压外延B.离子注入C.等离子体D.汽相外延
A.物理汽相淀积B.等离子体C.汽相外延D.二氧化硅
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