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多项选择题
互连工艺中AL的制备可选用（）。
A.电镀
B.CVD
C.MBE
D.PVD
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多项选择题
金属化中可选用的金属材料有（）。
A.银
B.金
C.铝
D.铜
单项选择题
进行沟槽填充常用的金属材料是（）。
A.铜
B.铝
C.钨
D.金
单项选择题
化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）
A.还原剂
B.分散剂
C.腐蚀介质
D.磨料
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