单项选择题
A、抗蚀剂的涂布B、对准曝光C、显影D、其它选项都正确
A.加曝光时间B.减曝光时间C.没办法D.只要改变曝光时间即可
A、模版设计B、曝光C、显影和刻蚀D、以上全是
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