多项选择题
BC5390CRP使用的时间计量法是如何保证小孔流速的()
A.通过提高废液泵功率保证小孔流速稳定
B.通过增加传感器灵敏度保证小孔流速稳定
C.通过提高真空室的容积提高负压的稳定性
D.通过监测粒子流和小孔电压确定小孔流速是否正常
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