问答题
简答题
简述双重镶嵌铜互连技术的几个挑战及双镶嵌铜互连工艺流程
【参考答案】
挑战：
①高深宽比的金属层间接触孔需要点击一层铜阻挡层以防止铜扩散，这个阻挡层需要良好的侧壁和底层阶梯覆盖、优......
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