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多项选择题
需要监控的参数包括（）。
A.膜的晶粒
B.膜的厚度
C.膜的均匀性
D.膜的反射率
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多项选择题
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A.蒸镀
B.溅镀
C.电镀
D.焊镀
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单项选择题
CVD TiN TDMAT的载气是（）。
A.He
B.Ar
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