Cryo pump（冷冻泵浦）之抽气原理主要分哪三种方式？

【参考答案】

Cryo pump（冷冻泵浦）之抽气原理主要分爲下列三种方式：
（1）低温冷凝；
（2）低温吸附；
（3）低温捕获。