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问答题

简答题

为什么溅射产额与离子的入射方向有关?

【参考答案】

溅射产额随离子入射的角度增大而增大,与入射角的余弦倒数成正比,即正比于。入射角度的增大使得受入射离子级联碰撞的受激粒子更......

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