问答题
简答题
简述影响氧化速率的因素？
【参考答案】
①氧化方式（干氧、湿氧或水汽氧化、等离子增强氧化）气氛：掺氯气氛增加氧化速率。
②气压：氧化速率与氧化剂分压成......
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