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问答题

简答题

源漏电极很多工厂采用的复层材料Mo/Al/Mo,试分析上下层Mo的作用。

【参考答案】

1)下层Mo的作用:Al直接与a-Si接触很容易向a-Si扩散使漏电流增大,影响TFT的关态特性,所以在Al层下面要增加......

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