问答题
简答题
试对比分析扩散工艺和离子注入工艺的特征和特点。
【参考答案】
扩散是高温工艺，需要SiO2这样的耐高温硬掩膜，其扩散形成的结深较深。扩散是各向同性的，因此有较大......
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