问答题
简答题
立式炉系统的五部分是什么？例举并简单描述。
【参考答案】
工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气系统、温控系统。
工艺腔是对硅片加热的场所，由垂直的石英罩钟、多区加热电......
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