单项选择题
A.真空蒸镀B.射频溅射C.高频离子镀膜D.原子层沉积
A.电晕放电区B.正常辉光放电区C.异常辉光放电区D.弧光放电区
A.提高电子的能量B.维持体系的低真空C.利用磁场改变二次电子的运动轨迹，增大电子撞击气体产生离子的概率D.加快电子的运动速率
A.机械泵B.扩散泵C.涡轮分子泵D.溅射离子泵
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