单项选择题

以下哪项不是STI工艺气体？（）

A.SiH₄
B.O₂
C.N₂O
D.Ar

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单项选择题

A.兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）
B.兆声清洗（Meg）-Brush（刷洗）-SRD（甩干）
C.Brush（刷洗）-兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）
D.Brush（刷洗）-SRD（甩干）-兆声清洗（Meg）

单项选择题

A.静电扫描
B.机械扫描
C.静电扫描与机械扫描结合

单项选择题

A.黄色标识，有白烟
B.红色标识，臭大蒜味道
C.黑色标识，无色大蒜味