多项选择题
A、安全联锁 B、机电仪故障 C、真空泵故障 D、停电
A、机电仪故障 B、操作失误 C、设备渗漏 D、真空管线堵塞
A、真空管线泄漏 B、真空管线堵塞 C、EG管线泄漏 D、EG管线堵塞
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