单项选择题

硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

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单项选择题

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

单项选择题

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

单项选择题

A.光学显微镜
B.扫描隧道显微镜
C.原子力显微镜