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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 集成电路制造工艺员 > 集成电路制造工艺员（三级）

多项选择题

对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。

A.入射离子的能量
B.入射离子的质量
C.入射离子的原子序数
D.靶原子的质量、原子序数、原子密度
E.注入离子的总剂量

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单项选择题
离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。

A.渐近角
B.偏折角
C.散射角
D.入射角
单项选择题
射程在垂直入射方向的平面内的投影长度称之为（）。

A.投影射程
B.射程纵向分量
C.射程横向分量
D.有效射程
单项选择题
离子从进入靶起到停止点所通过的总路程称作（）。

A.离子距离
B.靶厚
C.射程
D.注入深度
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