多项选择题
A.EUV曝光B.电子束光刻C.X射线光刻D.纳米压印技术
A.灵敏度B.分辨率C.抗蚀性D.黏附性
A.感光剂B.溶剂C.聚合物材料D.胶水
A.光刻机B.光刻胶C.掩膜版D.涂胶机
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