问答题
简答题
哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？
【参考答案】
通常用于深紫外光刻胶的准分子激光器是波长为248nm氟化氪（KrF）激光器，193nm的氟化氪激光器大概是作为曝光源的准......
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