多项选择题

背散射电子的性质是（）

A.产生范围在表层100～1000nm内
B.产额随原子序数增加而增加
C.可用于样品的表面形貌分析
D.可用于样品的表面成分分析

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多项选择题

A.二次电子信号反映样品的表面形貌特征
B.二次电子信号反映样品的成分信息
C.二次电子是入射电子与原子核外的价电子发生非弹性散射时被激发的核外电子
D.二次电子信号的分辨率高

多项选择题

单项选择题

A.俄歇电子的分辨率
B.二次电子像的分辨率
C.背散射电子像的分辨率
D.吸收电子像的分辨率