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单项选择题
下列属于涂布源扩散的是()
A.五氧化二磷
B.硼酸三甲酯
C.氮化硼
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单项选择题
下列属于液态源扩散的是()
A.五氧化二磷
B.硼酸三甲酯
C.氮化硼
单项选择题
硅片表面污染的杂质,原子型杂质可分为()
A.K
+
,Na
+
,Ca
2+
,F
-
,CL
-
,CO
3
2-
B.油脂、腊、松香
C.金、铂、铜、铁
单项选择题
硅片表面污染的杂质,离子型杂质可分为()
A.K
+
,Na
+
,Ca
2+
,F
-
,CL
-
,CO
3
2-
B.油脂、腊、松香
C.金、铂、铜、铁
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