多项选择题
A.膜厚分布均匀B.沉积速率较低C.薄膜纯度高D.原料浪费少
A.电子回旋共振B.直流电场C.微波耦合D.射频电场
A.粘滞流B.粒子流C.过渡流D.分子流
A.与小舟相切的球面上B.与小舟垂直的球面上C.与基板平行的方向上D.与基板垂直的方向上
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