问答题
简答题
化学气相沉积与物理气象沉积技术的区别是什么，它们的主要应用场合？
【参考答案】
化学气象沉积主要是CVD法，含有涂层材料元素的反应介质在较低温度下气化，然后送入高温的反应室与工件表面接触产生高温化学反......
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