问答题
简答题
从沉积速率和沉积温度出发，简述如何形成单晶或者粗大晶粒？如何形成多晶、微晶甚至非晶？请给出简单图示？
【参考答案】
提高温度或降低沉积速率可以形成单晶或者粗大晶粒；
降低温度或提高沉积速率可形成多晶、微晶甚至非晶。
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