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问答题

简答题

简述ELA技术制备LTPS TFT的缺点,针对ELA技术的问题有哪些解决方案?

【参考答案】

ELA技术的缺点是:
1)激光器昂贵、光学和机械系统复杂,制作成本高;
2)由于激光尺寸的限制,非晶......

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