问答题
简答题
简述钽在铜互连工艺中的作用
【参考答案】
①钽作为铜淀积前的阻挡层，可以防止铜扩散穿过氧化硅进入硅衬底损坏元器件。
②钽与钛、氮化钛阻挡层材料相比，是一......
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