问答题
论述题
在光刻中，能够在增加分辨率的同时增加聚焦深度吗？为什么？
【参考答案】
不能！聚焦深度：在保持图形聚焦的前提下，沿着光路方向晶圆片移动的距离是聚焦深度——
，......
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