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全部科目 > 大学试题 > 工学 > 电子与通信技术 > 半导体集成电路

问答题

简答题

接触孔和通孔的作用是什么?它们是如何形成的?什么是钨塞。试说明其主要作用。

【参考答案】

接触孔的作用:在金属和非金属导体间提供电学连接;
形成:
1)钛的淀积
2)退火

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