多项选择题
横向灵敏度产生的主要原因包括()
A、晶片切割或极化方向有偏差
B、晶片表面粗糙或互不平行
C、基座平面与主轴方向互不垂直
D、质量块或压紧螺母加工精度不够,压电元件上的静态预压力稍微偏离极化方向
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多项选择题
A、晶片切割或极化方向有偏差
B、晶片表面粗糙或互不平行
C、基座平面与主轴方向互不垂直
D、质量块或压紧螺母加工精度不够,压电元件上的静态预压力稍微偏离极化方向
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