单项选择题
A.图形精度B.刻蚀速率C.刻蚀选择性D.刻蚀均匀性
A.单片机B.PLCC.工业电脑D.以上均可
A.优化刻蚀气体配比B.控制刻蚀温度C.选择合适的掩膜材料D.以上都是
A.器件变形B.性能下降C.寿命缩短D.以上都是
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