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问答题

论述题

假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2

【参考答案】

(1)如果这次预淀积进行了总共t分钟,若预淀积温度不变,引入3Qcm-2

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