单项选择题
A.光刻B.掺杂C.刻蚀D.金属化
A.sputtering-evaporationB.evaporation-sputteringC.oxidation-epitaxyD.epitaxy-sputtering
A.蒸发—气相质量输运—淀积成膜B.离化—气相质量输运—淀积成膜C.蒸发—离化—淀积成膜D.离化—挥发—淀积成膜
A.钛.钽.铜.铝.铂B.钛.钽.铝.铜.铂C.钛.钽.铝.铜.金D.钛.钽.铝.铜.银
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