问答题
简答题
采取什么措施可以提高近表面缺陷的检测能力？
【参考答案】
提高近表面缺陷的探测能力应从下面三方面着手：
①用TR探头；
②使用窄脉冲宽频带探头；
③提高探头频率，减小晶片尺寸
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