问答题
简答题
等离子体工艺在半导体制造中的应用
【参考答案】
（1）IC制造中所有图形化刻蚀均为等离子体刻蚀或干法刻蚀。
（2）应用于电介质积淀。
（3）离子注入......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
