问答题
简答题
扫描电电子显微镜主要由几部分组成?
【参考答案】
扫描电子显微镜主要有电子光学系统、真空系统、电器系统三部分,另外还有信号检测系统。如果配置了能谱仪,则还有包括特征X射线......
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